삼성전자 반도체 제조공정에 사용되는 네온가스 재활용 성공

삼성전자 반도체 제조공정에 사용되는 네온가스 재활용 성공

삼성전자가 반도체 제조공정에 사용되는 희귀원소 네온가스 재활용에 성공했습니다. 반도체 포토 공정에 레이저를 생성하기 위해 사용되는 네온가스는 러시아, 우크라이나, 중국 등에서 원료가 생산되어 최근 우크라이나와 러시아의 전쟁으로 가격이 급등하며 부담이 되었습니다. 2022년부터 재활용 연구에 들어간 삼성전자는 2025년부터 네온가스의 약 75%를 재활용하여 사용하기로 하였습니다.

 

목차

삼성전자 반도체 제조공정에 재활용 네온가스 사용 예정

전량 수입 네온가스, 공급망 불안시 가격 급변동

네온가스 75% 이상 재활용으로 탄소배출도 90% 이상 감축

 

삼성전자 반도체 제조공정에 재활용 네온가스 사용 예정

삼성전자가 세계 최초로 반도체 생산에 재활용 네온가스를 사용할 예정입니다. 네온가스는 반도체 제조에 필수적인 포토 공정의 핵심 소재로 사용됩니다. 러시아와 우크라이나 전쟁으로 급등했던 가격이 40배 이상 폭등했던 희귀 품목이었습니다.

삼성전자의 전량 수입에 의존하는 네온가스 재활용을 통해 소재 조달 부담을 줄이고 탄소 배출량 역시 줄일 수 있게 되었습니다.

 

 

** 포토공정 : 반도체 웨이퍼에 회로를 그려넣는 공정으로 회로 패턴이 담긴 마스크 상을 빛을 비춰 회로를 그리기 때문에 붙여진 이름으로 포토 리소그래피(Photo Lithography)의 줄임말

 

 

 

 

 

전량 수입 네온가스, 공급망 불안시 가격 급변동

삼성전자 디바이스솔루션부문은 재활용 네온가스를 내년부터 반도체 공정에 투입하기로 결정했습니다. 최근 테스트 결과에 따르면 재활용 네온가스를 사용해도 반도체 성능에 영향이 없다는 결과를 얻었습니다.

네온가스는 포토 공정 중 레이저를 생성하는 데 사용되며 파운드리 및 메모리 반도체 제조 공정 모두에 사용되는 희귀 소재중 하나입니다. 글로벌 화학기업 린네 등이 중국, 러시아, 우크라이나 등에서 원료를 확보하여 생산합니다.

삼성전자는 네온가스를 전량 수입하여 사용합니다. 관세청 자료에 따르면 2023년 네온가스 수입량은 102,782리터, 1,657만불 규모입니다.

네온가스 재활용 프로젝트를 시작한 이유는 러시아와 우크라이나의 전쟁 때문입니다. 2021년 리터당 59달러였던 네온가스는 전쟁으로 2022년 리터당 1,613달러로 폭등하였습니다.

 

네온가스 수입량 및 네온가스 가격 / 자료 = 관세청

 

 

네온가스 75% 이상 재활용으로 탄소배출도 90% 이상 감축

네온가스 재활용에 대해 삼성전자는 사용된 포집기술을 연구하였고, 삼성전자의 협력사는 포집된 재활용 네온가스의 순도를 높이는 정제 과정을 거쳐 다시 삼성전자에 공급하는 과정을 맡게되었습니다. 2025년부터는 필요한 네온가스의 75% 이상을 재활용으로 충당할 계획을 갖고 있습니다.

이에 매년 수만리터 이상을 수입하고 있는 네온가스에 대한 수입량을 줄이고 네온가스를 안정적으로 공급할 수 있는 것이 재활용 프로젝트의 긍정적 포인트로 평가되고 있습니다. 또한, 네온가스 순도를 높이는 과정에서 발생하는 이산화탄소를 최대 92% 감축할 수 있다고 합니다.